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什么是MEMS传感器
MEMS是micro electro mechanical system微电子机械系统的缩写，这种微电子制造技术适用于任何传感器的制造。这些技术，通常在硅晶体上蚀刻，创造微观尺寸的机械传感结构。当与微电路耦合时，MEMS传感器可以用于测量例如加速度之类的物理参数。不同于ICP®传感器，MEMS传感器测量频率低至0Hz(静态或者DC加速度)。PCB®制造两种类型的MEMS加速度计，可变电容式和压阻式。可变电容(VC)MEMS加速度计主要是低幅值，高灵敏度设备，用于结构监测和恒定加速度的测量。压阻(PR)MEMS加速度计主要是高量程，低灵敏度设备，用于冲击和爆炸应用。
PCB®的VC MEMS加速度计有型号3711E，3713E和3741E系列。PCB®的压阻MEMS加速度计有型号3501,3503,3641,3651以及3991。
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